半導體用矽晶圓材料發展概況

2022年8月17日—再以鹽酸氯化並經蒸餾後,製成了11N的高純度多晶矽,再以柴可拉斯基法將多晶矽熔解,於溶液內摻入一小粒的矽晶體晶種,然後將其慢慢拉出,形成圓柱狀的單 ...

半導體用矽晶圓材料發展概況

2022年8月17日 — 再以鹽酸氯化並經蒸餾後,製成了11N的高純度多晶矽,再以柴可拉斯基法將多晶矽熔解,於溶液內摻入一小粒的矽晶體晶種,然後將其慢慢拉出,形成圓柱狀的單 ...

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