反射光谱法计算薄膜厚度

简介.薄膜的反射扫描会生成干涉条纹。各波长范围内的条.纹数量取决于反射角、薄膜厚度和薄膜折射率。如折.射率已知,则在一个折射角采集的数据足以计算薄膜.

反射光谱法计算薄膜厚度

简介. 薄膜的反射扫描会生成干涉条纹。各波长范围内的条. 纹数量取决于反射角、薄膜厚度和薄膜折射率。如折. 射率已知,则在一个折射角采集的数据足以计算薄膜.

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