薄膜量測標準

待校晶片的薄膜厚度是.由一週內5次個別量測的平均值所計算而得,.而每一次量測所得的膜厚值是透過最小平方法.的擬合,由ψ與Δ的線性回歸分析而得。擴充不確定度的評估, ...

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