原子層沉積

原子層沉積(英文:Atomiclayerdeposition)是一種可以將物質以單原子膜形式一層一層的鍍在基底表面的方法。原子層沉積與普通的化學沉積(化學氣相沉積)有相似之處 ...

原子層沉積

原子層沉積(英文:Atomic layer deposition)是一種可以將物質以單原子膜形式一層一層的鍍在基底表面的方法。原子層沉積與普通的化學沉積(化學氣相沉積)有相似之處 ...

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