化學氣相沉積

化學氣相沉積(英語:chemicalvapordeposition,簡稱CVD)是一種用來產生純度高、效能好的固態材料的化學技術。半導體產業使用此技術來成長薄膜。典型的CVD製程是將 ...

化學氣相沉積

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