•顯影劑溶解光阻軟化之部分，並將光罩或.倍縮光罩上的圖案轉到光阻上.•三個基本步驟:顯影,洗滌,旋乾.正光阻.負光阻.顯影劑.TMAH.二甲苯.洗滌.去離子水.乙酸 ...
• 顯影劑溶解光阻軟化之部分，並將光罩或. 倍縮光罩上的圖案轉到光阻上. • 三個基本步驟: 顯影, 洗滌, 旋乾. 正光阻. 負光阻. 顯影劑. TMAH. 二甲苯. 洗滌. 去離子水. 乙酸 ...
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