膜厚計原理

2012年9月24日—2.光學橢圓儀:其原理是利用分光的技術,由於不同材料有不同折射率的特性,因此求得膜厚,其.儀點為精度高,不論膜厚薄至數nm,也可以量取,但是缺點是儀器 ...

膜厚計原理

2012年9月24日 — 2. 光學橢圓儀: 其原理是利用分光的技術,由於不同材料有不同折射率的特性,因此求得膜厚,其. 儀點為精度高,不論膜厚薄至數n m ,也可以量取,但是缺點是儀器 ...

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