負型光阻劑之合成及性質探討

本研究先以甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸乙酯(EA)與甲基丙烯酸(MAA),進行三成分自由基共聚合,為乾膜光阻劑配方中的結合劑部分。另外,分別將三類單體兩兩一組 ...

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