光阻劑

負性光阻劑之曝光部分因交聯固化而不溶於顯影液,而未曝光部分溶於顯影液,將與掩膜上相反的圖形複製到基板上。...離子型PAG常由二芳基碘鎓鹽或三芳基硫鎓鹽組成,非離子 ...

光阻劑

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