再生碳化矽粉體技術應用

隨著全球高純碳化矽粉末需求量持續成長,本展品係使用矽晶圓邊角料做為矽源,由千盟自行研發高溫直接反應合成純度3N的循環碳化矽粉體,並進一步製作碳化矽晶圓承載盤。

再生碳化矽粉體技術應用

隨著全球高純碳化矽粉末需求量持續成長,本展品係使用矽晶圓邊角料做為矽源,由千盟自行研發高溫直接反應合成純度3N的循環碳化矽粉體,並進一步製作碳化矽晶圓承載盤。

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