半導體薄膜材料有機金屬化學氣相沉積反應器之氣體動力 ... | 私立大學五星教授網

半導體薄膜材料有機金屬化學氣相沉積反應器之氣體動力 ...

Metalorganicchemicalvapordeposition(MOCVD)orvaporphaseepitaxy(MOVPE)isacriticalprocessforpreparationofcompoundsemiconductorthin-films.

 半導體薄膜材料有機金屬化學氣相沉積反應器之氣體動力 ...

Metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) or vapor phase epitaxy (MOVPE) is a critical process for preparation of compound semiconductor thin-films.

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