執行電化學鍍覆製程的方法以及形成半導體結構的方法

在電化學鍍覆期間,將半導體基板電偏壓以用作陰極。將具有圖案化介電層的半導體基板浸入至含有銅離子的電鍍溶液中。在晶種層的表面處還原銅離子 ...

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