【光學膜厚量測】『顯微分光法』與『橢圓偏光法』有什麼不同? | 私立大學五星教授網

橢圓儀可測得複數折射率或介電函數張量，可以此獲得基本的物理參數，並且這與各種樣品的性質，包括形態、晶體質量、化學成分或導電性，有所關聯。它常被用來鑑定單層或多層 ...

橢圓偏光術( ellipsometry ) 為利用偏振光射入到待測樣本表面，分析反射光偏振態的一種精密量測技術。橢圓儀的量測方法是量測待測樣本表面的橢偏參數( ellipsometric ...

光譜式橢圓偏光儀（Ellipsometer）主要利用橢圓偏振光，量測透明或半透明之薄膜。此儀器藉由量測偏極光的振幅及相位改變，搭配專屬model擬合，可得知薄膜的膜厚、折射率 ...

Spectrum Ellipsometer. 橢圓偏光儀. 高精度薄膜解析分光橢偏儀、測定角度可自動調整機構、能對應所有可透光種類的薄膜。 以回轉檢光子、位相差板設置自動切換機構使測定 ...

量測光譜範圍：245nm – 1000nm · 光源：75瓦氙燈 · 測量方式：具備自動可變測量角度，透過電腦設定量測角度，入射角度範圍從45度到90度 ...

<Step 10> Measurement. 1. 在Spectrometer 中選擇Measurement 進行量測. 2. 量測結果. <Step 11> Analysis. 1. 點擊Analysis 鍵，選擇Bulk Calculation 功能. 量測光譜.

功能:量測二氧化矽、複晶矽、氮化矽等可透光薄膜， 待測試片大小從破片至八吋晶圓. 5.重要規格: (1).可變入射波長 (210 nm ~ 900 nm)，可變入射角（0 ~ 90度，需另外 ...

橢圓儀可測得複數折射率或介電函數張量，可以此獲得基本的物理參數，並且這與各種樣品的性質，包括形態、晶體質量、化學成分或導電性，有所關聯。它常被用來鑑定單層或多層 ...