橢圓測試儀(Ellipsometer)

功能:量測二氧化矽、複晶矽、氮化矽等可透光薄膜,待測試片大小從破片至八吋晶圓.5.重要規格:(1).可變入射波長(210nm~900nm),可變入射角(0~90度,需另外 ...

橢圓測試儀(Ellipsometer)

功能:量測二氧化矽、複晶矽、氮化矽等可透光薄膜, 待測試片大小從破片至八吋晶圓. 5.重要規格: (1).可變入射波長 (210 nm ~ 900 nm),可變入射角(0 ~ 90度,需另外 ...

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