創新平台/雙模態原子層鍍膜半導體製程突破

2023年11月15日—這套系統不僅支援奈米薄膜技術,更藉由特殊設計的腔體,整合多項鍍膜製程,顯著提升半導體製造的良率和生產效率。該技術更獲得了2023年全球百大科技研發 ...

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