FT 膜厚量測技術分析

當光由空氣(折射率no)垂直入射厚度為d之薄膜(折射率n),薄膜鍍於基材b(折射率ns)上,如圖.三所示;FresnelEquation可導出各膜層界面的反射率與n&k值相關性,其中a.

FT 膜厚量測技術分析

當光由空氣(折射率no)垂直入射厚度為d 之薄膜(折射率n),薄膜鍍於基材b(折射率ns)上,如圖. 三所示;Fresnel Equation 可導出各膜層界面的反射率與n & k 值相關性,其中a.

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