射頻匹配在10奈米以下半導體製程節點扮演要角

2020年12月11日—射頻匹配(RFmatching)在半導體製程中越來越受到重視。去除電漿製程中的射頻變異性極有可能提高良率和生產率,特別是在10奈米以及以下節點,隨著沉積 ...

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