電漿的產生方式藉由外加的能量來促使氣體內的電子獲得能量並且加速撞擊不帶電中性原子,由於不帶電中性原子受加速電子的撞擊後會產生離子與另一帶能量的加速電子,這些被釋出的電子,在經由電場加速與其他中性原子碰撞(如圖(一)所示)。如此反覆不斷,進而使氣體產生崩潰效應(gasbreakdown),形成電漿狀態。
電漿的產生方式 藉由外加的能量來促使氣體內的電子獲得能量並且加速撞擊不帶電中性原子,由於不帶電中性原子受加速電子的撞擊後會產生離子與另一帶能量的加速電子,這些被釋出的電子,在經由電場加速與其他中性原子碰撞(如圖(一)所示)。 如此反覆不斷,進而使氣體產生崩潰效應(gas breakdown),形成電漿狀態。【大同大學材料工程學系】楊木榮專任教授評價
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