電漿表面處理技術 | 私立大學五星教授網

電漿的產生方式 藉由外加的能量來促使氣體內的電子獲得能量並且加速撞擊不帶電中性原子，由於不帶電中性原子受加速電子的撞擊後會產生離子與另一帶能量的加速電子，這些被釋出的電子，在經由電場加速與其他中性原子碰撞（如圖(一)所示）。 如此反覆不斷，進而使氣體產生崩潰效應(gas breakdown)，形成電漿狀態。

... 產生電漿。電漿的折射率低於1，會使雷射束發散。在自我聚焦效應和電漿發散效應之間的交互作用下，電漿形成絲狀，其長度短至微米，長至公里。這樣產生的絲狀電漿的 ...

2024年7月16日 — 目前，人類主要通過電場來產生電漿。在強電場的作用下，氣體分子或原子會解離為正負離子和電子，形成電漿狀態，這些帶電粒子能夠促成化學 ...

2024年3月29日 — 電漿(Plasma)，又被稱為離子化氣體，為固態、液態和氣態之外的第四大物質狀態，通常在熱和電場的條件下生成。電漿產生的方法包含：「射頻放電」、「直流放電」 ...

2023年10月12日 — 電漿的產生須有足夠的能力來激發反應。在電子吸收電場的能量後，若能量足夠，將與碰撞的氣體分子產生解離，同時電子數目隨之增加，而新生 ...

游離率主要決定於電漿中的電子能量. 2. 在大部分的電漿製程反應室中，游離率. 都低於0.001%. 3. 高密度電漿（HDP）源的游離率就高. 得多，大約1%.

目前產生 電漿的方法以使用的功率源而言有直流放電(DC discharge)，低頻及中頻放電(數KHz 到數MHz),射頻 放電(13.6MHz)，及微波放電(2.45GHz)。 現行電漿製 程多操作在低 ...

電漿的形成，乃藉由電子的撞擊將分子斷鍵，形成離子團。然而受限於電子撞擊的平均自由路徑(MFP)太短所影響，一般在真空環境下始能產生穩定的電漿。

電漿中，失去電子的原子稱為離子。 因此，產生電漿的最簡單方法就是對氣體進行加熱使其電離，即成電漿。 在實驗室和工業應用中，就是先把容器抽到比較高的真空，再充入所 ...

當氣體被高能光源或其他高能粒子撞擊後游離(ionization)，形成一 種完全游離或部份游離的氣體，稱之為電漿態(plasma)。 體行為(collective behavior)的主因，但其密度須夠 ...