【Spirox】微觀晶圓檢測系統

功能.取代人工進行晶圓(Wafer)檢驗,找出晶圓表面缺陷.自動留存晶圓表面缺陷圖像與之相應之座標位置圖;適用晶圓.支援8吋/12吋矽晶圓.晶圓厚度:300μm~2000μm;晶圓 ...

【Spirox】微觀晶圓檢測系統

功能. 取代人工進行晶圓(Wafer) 檢驗,找出晶圓表面缺陷. 自動留存晶圓表面缺陷圖像與之相應之座標位置圖 ; 適用晶圓. 支援8吋/ 12吋矽晶圓. 晶圓厚度:300μm ~ 2000μm ; 晶圓 ...

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