光學膜厚量測系統

利用反射光譜儀分析反射光,來確定透明膜或半透明膜的膜厚及反射率.反射光譜.根據客戶需求專業設計設計規劃IN-LINE膜厚測量系統.應用例:非多晶矽、CMP、電介質、 ...

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