Why Planar to FinFET

2023年6月11日—Lg縮小時遇到的不理想效應,統稱為短通道效應(SCEshortchanneleffect)。包含臨界電壓下降(Vthroll-off);閘極遇電流穿遂、臨界電壓漂移、多晶矽參 ...

Why Planar to FinFET

2023年6月11日 — Lg縮小時遇到的不理想效應,統稱為短通道效應(SCE short channel effect)。包含臨界電壓下降(Vth roll-off);閘極遇電流穿遂、臨界電壓漂移、多晶矽參 ...

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