2023年4月5日—酚醛樹脂在鹼性顯影劑水溶液中相對容易溶解，但當添加DNQ時，由於DNQ分子的疏水性及其與樹脂間的氫鍵作用力，會使酚醛樹脂+DNQ的光阻組成，在顯影液中的溶解 ...,增幅放大的光阻成像系統，被稱為化學增幅型光阻(ChemicallyAmplifiedPhotoresist,CAP)。在大部份的化學增幅型光阻系統中，引發一連串造成溶解度改變之催化反應，通 ...,本發明是關於適用於超微影製程(諸如製造VLSI或大容量微晶片)以及其他光製造製程且能夠藉由使用電子束或極紫外線形成輪廓高度清晰之圖案(highlydefinedpattern)的化學增幅 ...,•平滑光阻邊...
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