,微影製程（英語：photolithography或opticallithography，中國大陸稱為光刻工藝）是半導體元件製造製程中的一個重要步驟，該步驟利用曝光和顯影在光阻層上刻畫幾何 ...,光學微影技術.那微影技術的基本原理是甚麼呢？其實非常類似.於我們日常生活中在照相及沖洗底片，只是大家需要想.像，原本的風景或是人物是要感光在底片上，而現今的.微 ...,第七章:微影製程.•暫時在晶圓上塗佈光阻劑.•將設計圖案轉移至光阻劑.•為IC製程中最重要之步驟.•占晶圓總製程時間的40~50%.光阻劑.•光敏感物質.•暫時塗佈在 ...,一般的微影製程步驟包含：晶片...
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