事實上光學微影技術所用的光罩很.多是用電子束微影技術作出來的。但是專業化的電.子束曝光系統都非常龐大且昂貴，主要是供應半導.體光罩公司使用。,傳統的電子束微.影系統扮演的是支援積體電路工業的角色，主要的.應用市場有三：(1)光罩之製作，如在玻璃上精確.定義鉻金屬或X-ray光罩之製作等；(2)直寫先進.電子束 ...,光罩與光罩載入程序.1.光罩放置光罩盒程序……………………………………………………□.2.光罩資料檔載入與執行程序………..………………………………......□.3.光罩載入後對準檢查FRA……………………………………………,電子束微影（electronbeamlithography）指使用電子...
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