,由陳力輔著作·2004—解離氣體中帶電的粒子彼此會.有庫倫作用力，所以這些帶電粒子會呈現集體化的行為特性。乾式蝕刻(Dryetch)，是以氣體電漿來蝕刻樣品的表面原子或分子。影響乾蝕刻的因素 ...,氣體在電漿中分解，產生氟自由基以.進行氧蝕刻製程e.−＊.+CF.4.→CF.3.+F+e.−.4F+SiO.2(s).→SiF.4(g).+2O.•增進蝕刻化學反應.Page5.9.電 ...,當通電之後，電流會通過燈絲加熱並且釋放出電子，電子會把管內氣體變成電漿（plasma），並讓日光燈管內的電流加大，當兩組燈絲間的電壓超過一定值之後燈管開始產生放電，使 ...,由廖木生著作·2004·被...
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