2023年9月7日—佳世達科技研發出劃時代超音波技術:CMUT,一種用電容式微機電元件來產生超音波訊號的技術。與傳統PZT壓電式技術相比,CMUT頻寬增加30%,高頻寬超音波 ...,本研究利用TSMC0.35μm2P4MCMOS-MEMS製程開發電容式超音波換能器(CapacitanceMicromachinedUltrasonicTransducer,簡稱CMUT),由於元件不耐高壓、介電層的充電 ...,2018年4月18日—目前的製造技術有電容式機械超音波感測(CapacitiveMicromachinedUltrasonicTransducer,CMUT)以及壓電式機械超音波感測(PiezoelectricMicromachined ...,2020年11月23日—傳統的超音波感測...
cmut原理PMUTcmut原理pmut原理PMUT vs CMUTCMUTThin film pmuts a review of over 40 years of researchPMUT and CMUT devices for biomedical applications: a reviewPMUT transducer
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