,2023年6月27日—图4超声接收原理图.3.1CMUT换能器制备工艺过程.根据确定的CMUT参数，对换能器进行制备。1)准备氧化层厚度为500nm的氧化片(低阻硅)和器件层 ...,本研究涵蓋電容式超音波微換能器(CapacitiveMicromachinedUltrasonicTransducer，cMUT)設計原理和公式推導，分析機電耦合特性及等效電路模型，設計參數化模擬分析 ...,2018年4月18日—超音波感測裝置的原理主要是藉由偵測發出及接收脈衝訊號的時間差，得到聲波達到待測物間的時間再乘上聲速，即可得知與物件之間的距離。目前在一公尺的範圍 ...,2023年7月8日—CMUT换能器是由...
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