2024年5月5日—乾膜光阻通常由聚乙烯膜PE層、感光光阻層、聚酯PET層三部分組成。其中感光光阻層是乾膜最重要的組成部分,包括:鹼溶性樹脂、光聚合物單體、感光劑等。,乾膜光阻去除(PRstripping)製程一般使用WetBench批次設備,如圖1、圖2所示為弘塑科技所製造之300mmwafer全自動WetBench設備,前兩個製程槽(ProcessTank)含有光阻 ...,乾膜光阻去除(PRstripping)製程一般使用WetBench批次設備,如圖1、圖2所示為弘塑科技所製造之300mmwafer全自動WetBench設備,前兩個製程槽(ProcessTank)含有光阻 ...,LONGLITE®DryFilmPhotoResist為負...
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