電子束微影(electronbeamlithography)指使用電子束在表面上製造圖樣的製程,是微影技術的延伸應用。微影技術的精度受到光子在波長尺度上的散射影響。使用的光波長越短,微影能夠達到的精度越高。根據德布羅意的物質波理論,電子是一種波長極短的波。,電子束加熱(electronbeamfurnace)或譯電子束爐或簡稱EB爐(EBfurnace)、e-Beam爐是一種真空爐(英語:Vacuumfurnace),在真空環境下以高能電子束為媒介傳遞熱量給 ...,E-beam結構與操作原理...E-gun電子槍金屬蒸鍍系統構造如圖二,是利用電子束來執行蒸鍍源的加熱。利用高壓電使鎢絲...
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電子束微影 | 私立大學五星教授網
電子束微影(electron beam lithography)指使用電子束在表面上製造圖樣的製程,是微影技術的延伸應用。 微影技術的精度受到光子在波長尺度上的散射影響。 使用的光波長越短,微影能夠達到的精度越高。 根據德布羅意的物質波理論,電子是一種波長極短的波。
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電子束加熱 | 私立大學五星教授網
電子束加熱(electron beam furnace)或譯電子束爐或簡稱EB爐(EB furnace)、e-Beam爐是一種真空爐(英語:Vacuum furnace),在真空環境下以高能電子束為媒介傳遞熱量給 ...
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物理氣相沈積PVD | 私立大學五星教授網
E-beam結構與操作原理 ... E-gun電子槍金屬蒸鍍系統構造如圖二,是利用電子束來執行蒸鍍源的加熱。利用高壓電使鎢絲線圈產生電子後,利用加速電極將電子引出,再透過偏向磁鐵 ...
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電子束焊接的原理 | 私立大學五星教授網
電子束(光束)焊接是利用真空管或陰極射線管內部釋放電子的原理的焊接方法。焊接基本在真空環境下進行(高真空型),其特點是可支援從薄板到厚板乃至細微部位的焊接,且 ...
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电子束 | 私立大學五星教授網
中文名. 电子束 · 拼音. diàn zǐ shù · 外文名. electron beam · 别名. 电子注 · 原理. 电子在电场中会受力而得到加速.
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怎麼製作出電子束? | 私立大學五星教授網
2020年12月30日 — 首頁 > 應用專欄 > 怎麼製作出電子束? how-do-you-make-an-electron-beam-electron-. 怎麼製作出電子束? 2020-12-30. Alex Ilitchev 著. 勀傑團隊譯. 對於 ...
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以電子顯微鏡為基礎之電子束曝光機的改裝與應用 | 私立大學五星教授網
Electron beam lithography is a quick and perfect solution for the fabrication of small amount of prototype nano-scaled structures where frequently changes in ...
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樂詞網 | 私立大學五星教授網
中文詞彙. 學術名詞 核能名詞 · electron-beam tube · 電子射柱管. 學術名詞 物理 ... electron-beam tube · 電子束管. 學術名詞 電力工程 · electron-beam tube · 電子束管.
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何謂熱蒸鍍法? | 私立大學五星教授網
2016年3月11日 — 2.電子束加熱法(Electron Beam Gun Evaporation):. 電子槍(e-gun)所產生的電子束由於磁場的作用力,而被轉向並集中至蒸鍍材料上。 此電子束是一束高 ...
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電子束蒸鍍(Electron beam evaporation) | 私立大學五星教授網
電子束蒸鍍成長薄膜的過程中沒有化學反應發生,所以屬於物理氣相沉積(PVD),由於只需要高真空,而且蒸鍍的薄膜可以大量快速地在基板上沉積,成本較低適合工廠大量生產 ...
YoshinobuKawai專任教授任職於逢甲大學材料科學與工程學系,專長為:電漿蝕刻、薄膜製程、ElectronBeamPlasma應用,以下為Yo...