,基本原理.編輯.此技術係在測量光在入射樣品時，其反射光偏振性質與入射光偏振性質的改變。通常，橢圓偏振在反射模式下進行。偏振性質的改變主要是由樣品的性質，如 ...,橢圓偏光術是一種非接觸式、非破壞性，以光學技術量測表面薄膜特性的方法。當一束偏極光經過物體表面或界面時，其極化狀態會被改變。而橢圓儀就是藉由偵測樣品表面的 ...,光學膜厚量測原理比較·反射分光膜厚量測.反射分光法也稱為光干涉法，搭載光譜儀的反射架構下，由反射率進一步求得光學膜厚。主要利用上圖R1(膜層表面的反射)以及R2(膜層 ...,光譜式橢圓偏光儀...
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