為了解決這些問題,高介電常數介電層(highdielectricconstant,high-k)已被用來取代二氧化矽,成為目前主流的絕緣層材料。相較於二氧化矽的物理結構,高介電常數的材料特性可以形成更薄的絕源層,卻又能阻擋電荷的穿隧,進而降低漏電機制的發生。,2008年6月20日—Highk能減少閘極漏往基極的電流,可節省晶片的功耗用電,使晶片更省電運作。Highk材質既然能提供更佳的絕緣性,那麼SOI的絕緣層也可以使用,將二氧化矽換成 ...,High-k材料,如HfO2ZrO2及TiO2,天生具有超過二氧化矽3.9的介電常數或k值。k值越高,電晶體之電容值也越高,...
low k材料好處high k定義high k low k材料高介電常數意思High-k metal gate高介電係數材料low k半導體High k介電常數越大介電常數物理意義高介電常數材料介電常數k介電常數表sio2介電常數介電常數頻率關係介電常數電容
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