腔體自動靜態升壓測漏模式(RORleakcheckmode):腔體接受指令後自動執行ROR靜態壓升測漏,以確認腔體是否有外氣洩漏之狀態。維修模式(Maintenancemode):系統 ...,...測漏儀的偵測下限。由於許多固體的網格常數為幾Å,較小分子與原子(H2、He)的直徑約為1Å,因此,可以使用氦氣測漏儀計量記錄固體的滲透。這讓我們開發了洩漏率非常小 ...,漏氣的定義為氣體由真空系統的外部經由漏氣的途徑進入.真空系統的內部即為漏氣.據此定義則任何真空系統均有漏氣.實際應用時並不以此定義來決定真空系統有無漏 ...,在氦气测漏检测的过程中,先将传递腔...
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