ISO 2372 振動管制標準

此準則為1μm製程的光學檢測設備以及光學平板印刷設備的一良好之規範標準。VC-D,250(48),0.3,大部分的設備包括電子顯微鏡(TEM及SEM)及E-Beam系統在運轉時都會要求振動 ...

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