一般科技廠房精密設備振動規範 | 私立大學五星教授網

其將不同瓦數設備以及基座性質(撓性或是剛性基座)分為四組，界定該設備正常、警戒、以及危險的振動值， ... 因此人們開始制定振動標準，用以界定不同轉動設備可承受的振動量。

此準則為1μm製程的光學檢測設備以及光學平板印刷設備的一良好之規範標準。 VC-D, 250(48), 0.3, 大部分的設備包括電子顯微鏡(TEM及SEM)及E-Beam系統在運轉時都會要求振動 ...

一般工業區 Workshop 800 (90dB) 無 明顯振動、適用於工廠與無振動管制區。 商業區 Office 400 (84dB) 無 有感振動、適用於辦公室與無振動管制區。 VC-A 50 (66dB) 8 適用 ...

一般科技廠房精密設備振動規範 · 以1/3倍頻譜(Octave Bands)分析頻寬8-100Hz之振動值(dB值的參考速度值為10-6in/sec)。 · “加工尺寸”是參考精密電子製造業之線寬、醫學和藥學 ...

ISO 10816-3​​ Zone A 優良新機 新機械，振動品質優良，沒有特定期限。 Zone B 正常機械 可接受的振動值，機械可長時間使用，沒有特定期限。 Zone C 警告狀態 不可長時間使 ...

微振動的定義泛指頻率在2~100 Hz，振幅在50 μm/s以下之振動量。無論是廠區內部樓板的強度、設備本身的運轉、或廠房其他設備的影響、廠房內的噪音等，都會成為振動的 ...

此准则为1μm制程的光学检测设备以及光学平板印刷设备的一良好之规范标准。 VC-D, 250(48), 0.3, 大部分的设备包括电子显微镜(TEM及SEM)及E-Beam系统在运转时都会要求振动 ...

该标准的适用范围是操作转速为 10~200Hz(600~12000RPM)的机器. 典型的这类设备包括:小型直联式 电机和泵,通用电机,中型电机,发电机,蒸汽透平,透平压缩机,离心 泵和风机.

設備振動規範. 半導體廠與光電廠內的部份精密設備對於微振動敏感，所以設備商會提出精密設備的微振動規範需求，作為判斷精密設備是否適合安裝於樓板或基座上的參考依據。