ISO 2372 振动管制标准

此准则为1μm制程的光学检测设备以及光学平板印刷设备的一良好之规范标准。VC-D,250(48),0.3,大部分的设备包括电子显微镜(TEM及SEM)及E-Beam系统在运转时都会要求振动 ...

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