此pMUT能夠經由第一與第二電極間的可壓電變形層產生並且檢測聲波,其囊括形成已懸掛壓電層或膜之(多個)結構化薄膜。頂端電極部乃可操作成用於藉由電信號,經由壓電層之動態 ...
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