低成本高剩磁極化參數PZT薄膜之開發以及其在空氣耦合壓 ...

並且本研究透過有限元素分析法進行模擬,對40kHz的pMUT進行了結構參數優化,然後使用標準麥克風進行聲壓測量,以評估pMUT和pMUT陣列的性能。...52.2kHz的諧振頻率下運作 ...

低成本高剩磁極化參數PZT薄膜之開發以及其在空氣耦合壓 ...

並且本研究透過有限元素分析法進行模擬,對40kHz 的pMUT 進行了結構參數優化,然後使用標準麥克風進行聲壓測量,以評估pMUT 和pMUT 陣列的性能。 ... 52.2kHz 的諧振頻率下運作 ...

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