,光阻劑(英語:photoresist),亦稱為光阻或光阻劑,是指經過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X射線等光照或輻射後,溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料,是微影製程中 ...,2020年8月26日—光阻劑分為正型光阻及負型光阻,因感光材料特性的關係,顯影結果也會有所差異。正型光阻其未被光罩覆蓋的光阻區域,在UV照射後,可被顯影液輕易的帶離; ...,2023年4月5日—G-line/I-line光阻劑的主要組成為酚醛樹脂(NovolacResin)與感光物重氮萘(Diazo-naphtho-quinon;DNQ)。酚醛樹脂在鹼性顯影劑水溶液中相對容易溶解,但當 ...,由於LED電極所...
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