短通道效應(英語:short-channeleffects)是當金屬氧化物半導體場效應管的導電溝道長度降低到十幾納米、甚至幾納米量級時,電晶體出現的一些效應。這些效應主要包括閾值電壓隨著溝道長度降低而降低、漏致勢壘降低、載流子表面散射、速度飽和、離子化和熱電子效應。,在深次微米元件中,短通道效應為一重要之課題,像元件臨界電壓值(ThresholdVoltage,Vth)會因通道縮短而下降(Roll-off)、汲極導致能障降低(DrainInduceBarrierLowing ...,2020年7月30日—Bodyeffect:在body施加比S極更低的電壓空乏區往通道延伸空乏區變大使閥值電壓(Vt)...
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