,橢圓儀可測得複數折射率或介電函數張量，可以此獲得基本的物理參數，並且這與各種樣品的性質，包括形態、晶體質量、化學成分或導電性，有所關聯。它常被用來鑑定單層或多層 ...,橢圓偏光術(ellipsometry)為利用偏振光射入到待測樣本表面，分析反射光偏振態的一種精密量測技術。橢圓儀的量測方法是量測待測樣本表面的橢偏參數(ellipsometric ...,光譜式橢圓偏光儀（Ellipsometer）主要利用橢圓偏振光，量測透明或半透明之薄膜。此儀器藉由量測偏極光的振幅及相位改變，搭配專屬model擬合，可得知薄膜的膜厚、折射率 ...,SpectrumEllip...
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